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产品详细页产品介绍
Unique automationswith highest accuracy and stability
具有最高的准确性和稳定性的*自动化系统。
模块化,自动化,易于使用
宽位移范围,4nm的分辨率的闭环控制
超稳定的平滑运动,任何速度下最小的振动。
uMs-FN1带有自动对焦和2位物镜改变器的立式显微镜
显微镜:Nikon FN1定制
焦距范围:40mm
分辨率/重复性:4nm/100nm
尺寸:428 x 170 x 351 mm
带透射光的底拖可拆卸
uMs-MCU 控制器
控制uMs-MXY,uMs-FN1 focus和 uMs-OBJ
以太网连接
尺寸: 150 x 74 x 49 mm
Motorized XY-stage马达控制移动平台
位移范围: 120 x 85 mm range
分辨率 / 重复性: 4 nm / 100 nm
最大移动速度: 10 mm/s
安装机械手数量:1-8